VPSA制氧設備由鼓風機、真空泵、溫度調節系統、吸附系統、氧氣罐、控制系統、氧氣加壓系統等設備組成。VPSA制氧設備工藝流程如下：

1、鼓風機和真空泵

鼓風機為整個系統提供原料空氣，真空泵確保整個系統的正常分析，使系統處于理想的真空狀態，整個設備可以連續吸收氮氣并產生氧氣。

2、溫度調節系統

空氣溫度調節系統由水冷卻器和電加熱器組成。鼓風機加壓后的空氣溫度將先升高后降低。溫度適合所需的工藝操作溫度后，將其送至吸附塔。

3、氧氣緩沖罐

氧氣緩沖罐可以緩沖氣流，實現氧氣的連續輸出。

4、控制系統

（1） 借助于控制系統，系統中的閥切換由可編程控制器單獨控制。各種檢測傳感器的模擬信號通過專用通信協議與主控制系統通信，該協議可以將機組的相關參數發送到主控制系統，并接收主控制系統的啟動和關閉命令。

（2） 根據安全用氣的需要，系統可設置多重聯鎖、保護、報警、打印、記錄等功能。

（3） 隨著燃氣需求的變化，用戶可以通過調整系統運行參數來達到節能的目的。

（4） 它可以實現遠程監控和管理，包括設備啟動和關閉，并可以實時收集操作參數。

PSA和VPSA制氧設備主要用于工業制氧。真空變壓解吸（VPSA）制氧設備。VPSA專用分子篩和干燥劑形成的混合床用于選擇性地吸附空氣中的氮、二氧化碳、水和其他雜質，使氧氣積聚并收集在床的末端，并在真空泵的條件下解吸飽和分子篩床，從而循環生產高純度（90~95%）的氧氣。

VPSA制氧設備是一種新型的氣體分離技術。以吸附劑分子篩為例，其原理是利用分子篩對不同氣體分子的“吸附”性能差異來分離氣體混合物。它使用空氣作為原料，通過利用選擇性固體吸附劑對氮和氧的選擇性吸附，從空氣中分離氮和氧。沸石分子篩根據其晶體中孔隙的大小選擇性地吸附分子，即吸附一定大小的分子，排斥較大物質的分子。這樣，可以在氣相中獲得富氧組分。一段時間后，氮在分子篩上的吸附達到平衡。根據在不同壓力下吸附氮的沸石分子篩的特性，降低壓力以去除氮在沸石分子篩上的吸附。這個過程叫做再生。變壓吸附法通常使用兩個平行的塔交替進行加壓吸附和減壓再生，以獲得連續的氧氣流。